先週は私用で福岡へ帰っておりました。
で、今回もいろいろと物品を横浜基地へ運んできました。
昨年秋の引っ越しの際には「これはまずいらんだろう」と思っていたものがいろいろと欲しくなったのです。今回はスパッタ関連の機器がほとんどです。
実家の作業台。あいかわらず物置状態です。大型のコンプレッサーとボール盤、バンドソーはさすがに持っていくことはないと思います（笑
今回のメイン、重くて運ぶのがたいへんなものがこの真空ポンプです。いや、これを持っていくことになるとは。
スパッタリング用のチャンバとか、冷却台とか。
その他いろいろ放り込んで、
この大きさになりました。
これを持って帰ってきた折り畳みキャリーに載せて移動します。ここは福岡空港。
もちろん機内持ち込みなんてできませんので、預けます。15kgくらいありました。
あっという間に羽田に着きます。
横浜までの移動が一番大変です。階段を運び上げられるようにキャリーの下からバンドを通しています。
これを引っ張りながら持ち上げることでキャリーに変な力がかかりません。
到着。改めて見ると、なんでこんなもん持ってきたんだろうというものもちらほら（笑
では取り出して片づけていきましょう。
まず真空ポンプ。モノタロウで買ったダブルステージ品です。
そろそろオイルも交換したほうがいいかなと思って持ってきました。
スパッタの肝、MOTです。電子レンジから取り出したもの。2000V500mAとか、余裕で即死できるパワーのトランスです。
高圧コンデンサ、ダイオードブリッジ、メータ類。
ダイオードブリッジは並列接続しても意味がないことをご指摘いただいたのですが、そのまま（笑
まあ、どっちか壊れても動き続けると思うので保険の意味でこのままにしておきます。もちろん電流は一本分しか流しません。
熱くなったターゲットを冷やす冷却台。実はスパッタも水冷にすることを計画中。
真空配管用のジョイント、Oリング類。
DCマグネトロンスパッタのチャンバ様。
ガラス基板。
ウレタンとシリコンのチューブ。
マグネトロンを作るための磁石。これがスパッタ成功へのブレークスルーになったものです。
これは霧箱で使うための線源。亡母が趣味の石拾いで持ち帰ってきたウラン鉱石です。
シリコンゴムシート。
負圧計。圧力センサで作り直したいところ。
ということで、スパッタリングができる機器一式を持ってきました。
スパッタリング装置は、（選考を通過すれば）MFTに持っていこうと思っているのもありますが、メインはレーザ加工機の凹面鏡を作ろうと考えているのです。
レーザ加工機はいまZnSeのレンズを使って集光しています。これはほとんどの市販の小型レーザ加工機も同じ構成です。ZnSeレンズはエクセレントなのですが、レンズの代わりに凹面鏡で集光しても加工はできるのです。いろんな曲率の凹面に鏡面を形成できれば、様々な焦点距離のレンズを手に入れたのと同じことになり、いろいろと面白いことができます。また、猛毒H2Seガス発生の問題もなくなりますので、塩ビ板も気にせず切ることができるようになります。
…..いろいろ書いてますが、ほんとのところは久々にマグネトロンプラズマを見たくなっただけです（笑
そのうち再起動させたいと思います。
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