HDDのプラッタに銅をスパッタする

00DIY

 
分解したHDDから取り出したプラッタを切断しました。中央には穴も開けています。
これに銅をスパッタしてレーザ管の光取り出し側ミラーに使います。

まずは穴無し基板で練習。
ガラス基板を適当なサイズに切り出して、

耐熱性の高いポリイミドテープで貼り付けます。

ポリイミドテープはわっかを作って両面テープのようにします。

プラッタが下になるようにホルダにセットして、

ターゲットの上におきます。

久々に登場のマグネトロンスパッタ部品たち。

接続します。もう慣れたもんです。

で、さくっとスパッタ。

冷やします。

取り出してみました。
が、何かすっきりしない出来。何枚か作ってみましたが、どれもくすんでいる感じがします。鏡面がきれいではありません。

念のためにガラス基板で作ってみました(右端)が、これはいつもどおりきれいに銅の膜が出来ます。それに比べて左の3枚はなんかいまいちなのです。

中央の基板は右側の縁が半円状に膜がありません。実はここはポリイミドテープがはみ出していて焦げたようになっていたところです。どうもポリイミドテープが加熱されて粘着剤からアウトガスがあるようです。有機系の不純物がチャンバの中に放出されることで膜質が低下しているように思われます。テープ自体はスパッタの高温でもどうということはないのですが、粘着剤は何らかの変性を受けているようです。
ということで、ホルダを考えないといけませんね。

とりあえずはプラッタのままでレーザ管を組み立ててみましょう。反射率は不明ですが、可視域で90%台の反射率はあると思われますので、10umでもそれなりのものと想像します。ということで全く発振しないということはないのではないかと期待して実験してみましょう。

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