ここで作ったマグネットを使ってスパッタリングをしてみました。
結論。失敗です。
「マグネトロンスパッタ続き」の一番下の動画で示したようなマグネットを一対使った系の方が速く製膜できます。原因はよくわかりませんが、やはり複数の磁石が互いに反発しあうのを無理やりレイアウトすることに無理がのかな。鉄板を近づけたときに引き寄せる全体の磁力も弱くなっているような気がします。ターゲットの下にマグネットを出し入れしても、ほとんどプラズマの分布に変化がありません。ということで写真も無しです。
大きなドーナツ状の磁石があれば仮説を確認することも出来るのだと思いますが、買ってまで確かめる気がおきません。
ということで、今後は二極でなんちゃってマグネトロンスパッタリングをすることにします。
なんかもやもやしますが、CO2レーザを作るという本来目的からすると横道ですので、これ以上迷い込むのはやめておきます。(-_-;)
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