マグネトロンスパッタ続き

　
時間を忘れていろいろな条件で製膜を行いました。
まだ満足な結果を得ることはできていませんが、せっかくの三連休を全部スパッタリングでつぶすのはあまりにも不健全なので、この辺でやめて、光共振器の機構作製に入ります。結局それかよという突っ込みは無しの方向で。

ということで今週の残骸たち。
基板いろいろ。左のほうは結構いい感じになってきています。大面積でもきれいな鏡面が出つつあります。

熔けた銅ターゲットとガラス板。
円筒状の電極の内側はプラズマがものすごく集中するようです。円筒の内側は等電位だと思いますので結果に違和感があるのですが、私がわかってないだけでしょう。
円筒形のターゲットを作るとこんな感じに熔けてしまいます。
厚めの板で円筒を作り、その中に基板を入れたら製膜が早いんじゃないかと思ってやってみたところ、見事にガラスが熔けました。すごいエネルギーなんですね。