参号管気密確認

自作レーザ加工機

 
 参号管は放電実験はすでに終了しておりますが、気密の維持がいまいちのようですので、原因を特定することにしました。気密がいまいちなのはポンプの音を聞いていればわかりますし、放電させたままポンプを停止すると十秒も持たずに放電がとまりますのでわかります。
 怪しいのはミラーマウントモジュールのOリングです。黄銅チーズは単体で気密テストをしていますし、レーザ管との接合部はこれでもかというくらいに接着剤を付けておりますので大丈夫のはず。

ということで、ミラーを外して黄銅チーズ側に固定しているフランジ部分にシリコンゴムシートをあてて真空引きしてみました。

こっちと、

反対側。

この状態ではほとんど漏れらしい漏れは無いようです。やはりOリングですね。
ポンプを切ってしばらく時間を空け、再度ポンプを入れてみてもほとんど音に変化がありません。真空度が下がっていると「コポコポコポ…」という音がするのですが、まったくしません。

ということで、ミラー調整部はもう一段の工夫が必要のようです。

コメント