買ったもの 買ったもの
ここまでの実験結果を受けて、いよいよレーザ発振実験に向けた本格準備に着手。 関係ないのもたくさんありますが ＾＾；） まずは碍子（笑 こんなものを買う日がこようとは。 スパッタするときに余計なところから放電が生じることがよくあり、これを抑え...
miratanahibi
買ったもの 
その他のプロジェクト スパッタリング条件検討 そして成膜へ
条件検討も最終ステージです。もうこれでだめならネタ切れであきらめるしかありません。 が、この実験はこれまでの知見をすべて突っ込んでいますので一定の結果を得られるはずです。 いざスタート。 床面全体がターゲットです。ターゲットに直接シリコンパ...
その他のプロジェクト スパッタリング条件検討 さらに続き
耐熱性のあるガラスのチャンバは出来ました。いざ電圧を上げてさらに条件検討です。 もう床がプラズマの海になっても大丈夫...とはいうものの、やはり「チャンバの中央部分にターゲットと基板がある」というスパッタ装置のスタンダードを意識して、その実...
その他のプロジェクト チャンバを作り直す
アクリル製のチャンバでは耐熱性に余裕がありませんので、ガラスで作り直すことにしました。 ガラスのビンを物色したところ、鮭フレークとピクルスの空き瓶がたくさんありました。鮭フレークは私のお弁当に毎日入ります。んで、ピクルスのほうはIKEAに行...
その他のプロジェクト スパッタリング条件検討 続き
考えるヒントを得るためにいろいろと実験。 まずは銅板を丸く切り抜いて、 こんな感じにしてみました。 対極に一番近いのが銅版を取り付けているナットであるのが少し心配。 で、通電してみました。 なんか天使のわっかみたいなプラズマがカコイイ。 以...
買ったもの ハンダ吸取り器
ここで紹介しましたハンダ吸い取り器を使ってみました。 中華製で安かったのですが、220V仕様ということでトランスを介しての利用ということになります。トランスはこのときに安いものを手に入れていたので問題無しと。 下の写真ではわかりにくいですが...
その他のプロジェクト スパッタリング条件検討
条件検討などとえらそうなことを言えるようなものではないですが、電極の形状や圧力、電圧などをいくつか変えてプラズマの状態を観察してみました。 まずは電極間隔を大きくして印加電圧を高くした例。 真空度が高いとプラズマが生成されやすくなり写真のよ...
買ったもの 買ったもの
あいかわらずいろいろ買い物 まずはハンダ吸い取り器。すごく欲しかったのです。 Aliexpress で$87。安い。日本で買う価格の1/3以下です。 でも220V仕様（笑 先日購入したトランスを使えば問題なしです。気が向いたら100V仕様に...