その他のプロジェクト きれいな膜が出来始めた
基板を動かしながらスパッタしてもいまいちきれいに出来ないので、どうしたものかと思いながらいろいろと実験をやっておりましたところ、なにやら手法的にはわかったような気がしてきました。以下そのポイントと考察を。 ターゲットがでかいほうが膜が均一に...
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