基板の移動機構を作る

　
さて、分解をたのしんだところでスパッタに戻ります。
円筒ターゲットを使ったスパッタでそこそこの結果が出ており、あとはムラの解消だけというところまで来ています。
ムラを無くすには基板を動かしてやるのが良い方法です。大型のスパッタや蒸着装置、CVDなんかでも採用されている方法です。

ということで作ります。まず第一案として、回転できるように保持した円盤電極をチャンバの外からマグネットで動かすというというものを作ります。

SUSの円盤を加工していきます。

中心と基板をのぞかせる開口部にドリルで穴を開け、

穴を広げていきます。

ハンドニプラで四角い穴に粗加工して、ヤスリで仕上げます。

チャンバにつけてみましょう。

こんな感じです。

回転の具合を動画で。
これならネジか釘のような磁性体を円盤に取り付ければチャンバの外からでも円盤を動かせそうな気がします。