基板を動かしながらスパッタする

　
基板の移動機構が出来ましたので実験してみます。

磁石で動かすためにこんな風に釘をポリイミドテープで貼り付けました。

良い感じで動きます。

では早速スパッタへ。こんな感じのセットアップです。

取り付けネジをちょっと緩めてスムースに動くようにしています。

ちょいと位置がずれておりますが、イメージは伝わるかと。

で、肝心の結果ですが、あまりうまく行っておりません。そもそも基板をターゲットの真上で止めていてもちゃんとした膜が出来ておりません。
もう少し条件検討ですね。