レーザ加工機

基板の移動機構が出来ましたので実験してみます。 磁石で動かすためにこんな風に釘をポリイミドテープで貼り付けました。 良い感じで動きます。 では早速スパッタへ。こんな感じのセットアップです。 取り付けネジをちょっと緩めてスムースに動くようにし...

さて、分解をたのしんだところでスパッタに戻ります。 円筒ターゲットを使ったスパッタでそこそこの結果が出ており、あとはムラの解消だけというところまで来ています。 ムラを無くすには基板を動かしてやるのが良い方法です。大型のスパッタや蒸着装置、C...

仮説１で正しそうな気配の実験を受けて、もう少し別の角度から検証をしてみました。 細いパイプばかりをいくつか一緒に入れて様子を見たのです。 以下の写真のように、外形6mmφのパイプの長いものを2本、短いものを2本、外形8mmφの短いパイプを1...

円筒電極を使った実験で立てた仮説を検証してみました。 まずは太さの違うソケット、というか銅管を混在させた実験。 大小ソケットに加えて、銅パイプの切れっ端を加えて同時に通電してみます。 並べて、 蓋して、 通電。 大→小→パイプにしたがってプ...

ここのところの実験で二つの方向で大きく進捗がありました。 安定して比較的きれいな金属膜を形成する条件を見つけたように思います。 たとえばこれ。 これはここでのなはなはさんからのアドバイスにしたがってプラズマを動かしながらマグネトロンスパッタ...

いろいろいろいろとアイデアが出てくるので、片っ端から試してみています。 失敗の記録として羅列しておきます。 マグネトロンスパッタのターゲットと基板の位置を近づけたり離したりひっくり返したり、材料変えてみたりいろいろとやっております。 まずは...

だんだん泥沼にはまっているような気がしてきました。レーザからも離れていっているし。 せっかくの三連休の二日をほぼ朝から夜中まで実験し続けています。 好き勝手にやれるところが趣味の良いところですが ＾＾； 作業台の上はこんな感じで大変なことに...

ターゲット側の放熱は出来るようになったので、基板側の放熱が出来るようなチャンバ構造を考えてみました。 ちゃんとしたスパッタでは水冷するのですが、そんな大げさなことはやりたくないのでターゲットと同じく空冷にします。ただ、基板はターゲットの近く...