レーザ加工機

条件検討も最終ステージです。もうこれでだめならネタ切れであきらめるしかありません。 が、この実験はこれまでの知見をすべて突っ込んでいますので一定の結果を得られるはずです。 いざスタート。 床面全体がターゲットです。ターゲットに直接シリコンパ...

耐熱性のあるガラスのチャンバは出来ました。いざ電圧を上げてさらに条件検討です。 もう床がプラズマの海になっても大丈夫...とはいうものの、やはり「チャンバの中央部分にターゲットと基板がある」というスパッタ装置のスタンダードを意識して、その実...

アクリル製のチャンバでは耐熱性に余裕がありませんので、ガラスで作り直すことにしました。 ガラスのビンを物色したところ、鮭フレークとピクルスの空き瓶がたくさんありました。鮭フレークは私のお弁当に毎日入ります。んで、ピクルスのほうはIKEAに行...

考えるヒントを得るためにいろいろと実験。 まずは銅板を丸く切り抜いて、 こんな感じにしてみました。 対極に一番近いのが銅版を取り付けているナットであるのが少し心配。 で、通電してみました。 なんか天使のわっかみたいなプラズマがカコイイ。 以...

条件検討などとえらそうなことを言えるようなものではないですが、電極の形状や圧力、電圧などをいくつか変えてプラズマの状態を観察してみました。 まずは電極間隔を大きくして印加電圧を高くした例。 真空度が高いとプラズマが生成されやすくなり写真のよ...