その他のプロジェクト 凹面鏡を切り出す
ここやここで紹介しましたように、CO2レーザの全反射ミラーに凹面鏡を使うといろいろと良いことがあります。ということで、凹面のミラー作製方法を検討しました。 Sam's LASER FAQに記載された先人たちのアプローチのひとつでは、車のバッ...
その他のプロジェクト
その他のプロジェクト 
その他のプロジェクト 自作CO2レーザ情報 その２
さて、ミラー作製のためのスパッタリング検討も一段落つき、本格的にレーザ管の検討に入る事になります。 これに先立ち、自作レーザ関連情報の総本山であるSam's LASER FAQ に再度ざっと目を通しました。膨大な情報には圧倒されるばかりです...
その他のプロジェクト アクリル板にスパッタしてみました
ニコ動とここの両方に「アクリル板へのスパッタ製膜は可能か？」とのご質問をいただきましたのでやってみました。 結論： 無理ではないけど基板冷却機構を作らないとちゃんとしたものは出来なさそう。 プラスチックや有機物へのスパッタリングは、有機EL...
その他のプロジェクト 本当に完成したようです
先週プロセス完成宣言をしたスパッタリングですが、ちょいと不安もありましたので本日もう一度作ってみました。 これまでもうまくいった実験の再現性については悩まされましたので確認する必要性を感じていたのです。先週は4枚連続で綺麗な膜が出来ましたが...
その他のプロジェクト スパッタリング手法完成
この数ヶ月にわたり検討してきましたスパッタによるミラーつくり、その作製プロセスがほぼ完成しました。結局、円筒型ターゲットによる製膜はあきらめ、マグネトロンスパッタによる方法を選択しました。 ここしばらく紹介しておりましたように、円筒型でもか...
その他のプロジェクト きれいな膜が出来始めた
基板を動かしながらスパッタしてもいまいちきれいに出来ないので、どうしたものかと思いながらいろいろと実験をやっておりましたところ、なにやら手法的にはわかったような気がしてきました。以下そのポイントと考察を。 ターゲットがでかいほうが膜が均一に...
その他のプロジェクト 基板を動かしながらスパッタする
基板の移動機構が出来ましたので実験してみます。 磁石で動かすためにこんな風に釘をポリイミドテープで貼り付けました。 良い感じで動きます。 では早速スパッタへ。こんな感じのセットアップです。 取り付けネジをちょっと緩めてスムースに動くようにし...
その他のプロジェクト 基板の移動機構を作る
さて、分解をたのしんだところでスパッタに戻ります。 円筒ターゲットを使ったスパッタでそこそこの結果が出ており、あとはムラの解消だけというところまで来ています。 ムラを無くすには基板を動かしてやるのが良い方法です。大型のスパッタや蒸着装置、C...