自作CO2レーザー

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買ったもの

買ったもの

いろいろと悩んだあげく、結局レーザ管を買ってしまいました...... これ。 $120 とか安すぎ。送料込みでも$160です。私がCO2レーザ自作を考え始めた昨年末からすると1/3位まで下がっています。これから円安に向かうし買うなら今かな~...
00DIY

真空デシケータでミラーを保存してみる

スパッタで作った銅膜の酸化を防ぐために真空デシケータは有効かどうか、作って試してみる事にしました。 準備はこれだけ。モノタロウで買っておいたシリカゲル、いつものシャケフレーク空きビン、蓋に6mmφチューブ用ハーフユニオンを接着したもの、そし...
その他のプロジェクト

アクリル板にスパッタしてみました

ニコ動とここの両方に「アクリル板へのスパッタ製膜は可能か?」とのご質問をいただきましたのでやってみました。 結論: 無理ではないけど基板冷却機構を作らないとちゃんとしたものは出来なさそう。 プラスチックや有機物へのスパッタリングは、有機EL...
その他のプロジェクト

本当に完成したようです

先週プロセス完成宣言をしたスパッタリングですが、ちょいと不安もありましたので本日もう一度作ってみました。 これまでもうまくいった実験の再現性については悩まされましたので確認する必要性を感じていたのです。先週は4枚連続で綺麗な膜が出来ましたが...
その他のプロジェクト

スパッタリング手法完成

この数ヶ月にわたり検討してきましたスパッタによるミラーつくり、その作製プロセスがほぼ完成しました。結局、円筒型ターゲットによる製膜はあきらめ、マグネトロンスパッタによる方法を選択しました。 ここしばらく紹介しておりましたように、円筒型でもか...
その他のプロジェクト

きれいな膜が出来始めた

基板を動かしながらスパッタしてもいまいちきれいに出来ないので、どうしたものかと思いながらいろいろと実験をやっておりましたところ、なにやら手法的にはわかったような気がしてきました。以下そのポイントと考察を。 ターゲットがでかいほうが膜が均一に...
その他のプロジェクト

基板を動かしながらスパッタする

基板の移動機構が出来ましたので実験してみます。 磁石で動かすためにこんな風に釘をポリイミドテープで貼り付けました。 良い感じで動きます。 では早速スパッタへ。こんな感じのセットアップです。 取り付けネジをちょっと緩めてスムースに動くようにし...
その他のプロジェクト

基板の移動機構を作る

さて、分解をたのしんだところでスパッタに戻ります。 円筒ターゲットを使ったスパッタでそこそこの結果が出ており、あとはムラの解消だけというところまで来ています。 ムラを無くすには基板を動かしてやるのが良い方法です。大型のスパッタや蒸着装置、C...
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