その他のプロジェクト スパッタチャンバの改造続き
ターゲット側の放熱は出来るようになったので、基板側の放熱が出来るようなチャンバ構造を考えてみました。 ちゃんとしたスパッタでは水冷するのですが、そんな大げさなことはやりたくないのでターゲットと同じく空冷にします。ただ、基板はターゲットの近く...
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自作レーザ加工機
買ったもの
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